SEMI F57認證

什么是SEMI F57認證？

SEMI F57 是半導體行業(yè)聚合物材料及其組件系統(tǒng)，從材料選擇、生產過程、產品結構設計等方方面面進行規(guī)范和建議的文件，主要用于超純水和液態(tài)化學品輸送系統(tǒng)或者組件的評價。

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為什么要做SEMI F57認證？

半導體先進制程要求工藝使用的超純水，超純化學品的純度越來越高，污染物水平越來越低，用于超純水，超純化學品運輸和儲藏的系統(tǒng)和部件不能帶入污染。雖然在超純水與化學品的質量都有相對應的標準與規(guī)范，大部分都是末端標準，對其各個組件的制造商來說，是無法直接應用的。目前在SEMI系列規(guī)范中，SEMI F57是直接從材料選擇、生產過程、產品結構設計等方面進行規(guī)范和建議的文件，讓超純水和濕化學品輸送系統(tǒng)材料的適用性評估有所參考依據。

SEMI F57可以測試的產品品類：

需要進行純度測試的材料和部件

SEMI F57 測試需要測試產品的4類參數：

SEMI F57測試參數類型

測試陰離子，金屬離子，和總有機碳的液體提取方法如下（根據SEMI F40）：

測試陰離子，金屬離子，和總有機碳的液體提取方法如下（根據SEMI F40）：

1、認證的浸泡液僅是超純水，摸底測試出測試報告，其能力如下：

2、制樣要求

1）接觸液體體積大于200mL

2）直徑要求：≤20mm

3）長度要求：根據直徑調整，使得內壁接觸液體體積V≥200mL

計算公式：長度L=V（體積）/(πD)

3、表面粗糙度取樣要求

1）用和產品相同制樣方法制取平整樣品，不能有翹曲；

2）樣品尺寸：最小 3x3mm，測中心以及邊緣兩個點咨詢電話:13816144967(微信同號)